通常情形下，，，，，，薄膜的厚度指的是基片外貌和薄膜外貌的距离，，，，，，而现实上，，，，，，薄膜的外貌是不平整，，，，，，不一连的，，，，，，且薄膜内部保存着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和外貌吸附分子等。。。。。。因此薄膜的厚度大至可以分成三类：形状厚度，，，，，，质量厚度，，，，，，物性厚度。。。。。。

工业生产的薄膜，，，，，，其厚度是一个主要的参数。。。。。。随着科技的前进和细密仪器的应用，，，，，，薄膜厚度的丈量要领有许多，，，，，，凭证丈量的方法分可以分为两类：直接丈量和间接丈量。。。。。。

使用光谱共焦传感器，，，，，，使用光学的要领，，，，，，非接触式地丈量薄膜的厚度。。。。。。在检测历程中，，，，，，白光可以直接穿透，，，，，，取两个波峰极点的中心段的值，，，，，，即为薄膜的厚度。。。。。。