通常情形下，，，，，，，薄膜的厚度指的是基片外貌和薄膜外貌的距离，，，，，，，而现实上，，，，，，，薄膜的外貌是不平整，，，，，，，不一连的，，，，，，，且薄膜内部保存着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和外貌吸附分子等。。。。。。因此薄膜的厚度大至可以分成三类：形状厚度，，，，，，，质量厚度，，，，，，，物性厚度。。。。。。

工业生产的薄膜，，，，，，，其厚度是一个主要的参数。。。。。。随着科技的前进和细密仪器的应用，，，，，，，薄膜厚度的丈量要领有许多，，，，，，，凭证丈量的方法分可以分为两类：直接丈量和间接丈量。。。。。。

使用光谱共焦传感器，，，，，，，使用光学的要领，，，，，，，非接触式地丈量薄膜的厚度。。。。。。在检测历程中，，，，，，，白光可以直接穿透，，，，，，，取两个波峰极点的中心段的值，，，，，，，即为薄膜的厚度。。。。。。